3Dレーザー顕微鏡

設備・装置名 3Dレーザー顕微鏡
技術相談 可能
共同研究 可能
管理担当者 主担当:物質工学科 野中利瀬弘
副担当:物質工学科 佐藤恒之
設置場所 物質工学科棟2F,構造解析室
仕様

(1) LEXT OLS4000(オリンパス)

(2) 短波長レーザー(405nm,白色LED)

(3) 対物レンズ5×,10×,20×,50×,100×

(4) 電動ステージ

主な用途

(1) 光学観察,レーザー観察,微分干渉観察

(2) 表面粗さ測定,段差測定

(3) 面積/体積測定,幾何測定

(4) 粒子測定,膜厚測定

キーワード 表面分析,表面構造観察

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