電界放出形走査電子顕微鏡

設備・装置名	電界放出形走査電子顕微鏡
技術相談	可能
共同研究	可能
管理担当者	主担当：物質・生物系長
管理担当者	副担当：なし
設置場所	物質・生物系棟1F，表面科学研究室
仕様	(1) JSM-7800F（日本電子），サーマル型 (2) 加速電圧0.01～30kV，最大プローブ電流200nA (3) 分解能0.8nm（15kV） (4) EDS付
主な用途	(1) GBによる超高分解能表面観察 (2) 磁性材料の高倍率観察 (3) 4種の電子検出器による組成像，凹凸観察 (4)EDSによる最表面の元素マッピング
キーワード	表面微細構造観察，微小部元素マッピング

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秋田工業高等専門学校
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