電界放出形走査電子顕微鏡

設備・装置名 電界放出形走査電子顕微鏡
技術相談 可能
共同研究 可能
管理担当者 主担当:物質・生物系長
副担当:なし
設置場所 物質・生物系棟1F,表面科学研究室
仕様 (1) JSM-7800F(日本電子),サーマル型 (2) 加速電圧0.01~30kV,最大プローブ電流200nA (3) 分解能0.8nm(15kV) (4) EDS付
主な用途 (1) GBによる超高分解能表面観察 (2) 磁性材料の高倍率観察 (3) 4種の電子検出器による組成像,凹凸観察 (4)EDSによる最表面の元素マッピング
キーワード 表面微細構造観察,微小部元素マッピング

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