電界放出形走査電子顕微鏡

設備・装置名 電界放出形走査電子顕微鏡
技術相談 可能
共同研究 可能
管理担当者 主担当:物質工学科 野中利瀬弘
副担当:物質工学科 野坂肇
設置場所 物質工学科棟1F,表面科学研究室
仕様

(1) JSM-7800F(日本電子),サーマル型

(2) 加速電圧0.01~30kV,最大プローブ電流200nA

(3) 分解能0.8nm(15kV)

(4) EDS付

主な用途

(1) GBによる超高分解能表面観察

(2) 磁性材料の高倍率観察

(3) 4種の電子検出器による組成像,凹凸観察

(4)EDSによる最表面の元素マッピング

キーワード 表面微細構造観察,微小部元素マッピング

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