分光エリプソメーター

設備・装置名 分光エリプソメーター
技術相談 可能
共同研究 可能
管理担当者 主担当:物質工学科・丸山耕一
副担当:機械工学科・野澤正和
設置場所 地域共同テクノセンター・テクノラボ
仕様

(1) 大塚電子製卓上型分光エリプソメーター(FE-50S)

(2) 位相子挿入回転検光子法

(3) 入射角度(45~90°)自動可変(自動サインバー駆動)測定

(4) 400波長(300 nm~800 nm)以上のエリプソスペクトル測定

(5) 分光器(ポリクロメーター)検出

(6) 推奨試料サイズ 100 mm×100 mm(微小試料は要相談)

(7) 薄膜試料、平板試料をステージに設置する方式

(8) PCによる全自動の制御・解析システムを装備

主な用途

(1) 対象試料:バルク・薄膜試料・超薄膜試料

(2) 測定項目:エリプソパラメーター(cosΔ・tanΨ)・光学定数解析(nk)・膜厚解析(0.1 nm~1000 nm)

キーワード 偏光解析・回転検光子法・分光エリプソメーター・多入射角・エリプソパラメーター・光学定数・膜厚解析

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